5osé frézované keramické izolátory pro polovodičová zařízení a čisté prostory

V náročném světě výroby polovodičů a čistých prostor musí každá součástka poskytovat bezchybný výkon.PFT, specializujeme se na řemeslné práce5osé frézované keramické izolátorykteré nově definují přesnost a spolehlivost. S více než 20+Naše řešení, která se opírají o dlouholeté zkušenosti, jsou navržena tak, aby splňovala náročné požadavky polovodičových zařízení a zajišťovala tepelnou stabilitu, elektrickou izolaci a provoz bez kontaminace v ultracitlivých prostředích.

Proč si vybrat naše 5osé frézované keramické izolátory?

1.Pokročilé výrobní možnosti

Naše zařízení je vybavenonejmodernější 5osé CNC frézky, což umožňuje mikronovou přesnost při tvarování pokročilé keramiky, jako je oxid hlinitý (Al₂O₃), karbid křemíku (SiC) a nitrid hliníku (AlN). Na rozdíl od konvenčních metod umožňuje 5osé obrábění složité geometrie – což je klíčové pro součástky, jako jsou zvedací kolíky pro destičky, součásti depoziční komory a plazmově odolné izolanty.

Klíčové vlastnosti:

•Přesnost:Tolerance ±0,005 mm pro bezproblémovou integraci do litografických nástrojů ASML nebo leptacích systémů Lam Research.
•Všestrannost materiálu:Optimalizováno pro 99,8% oxid hlinitý, vysoce čistý SiC a další pokročilou keramiku.
•Povrchová úprava:Ra <0,2 μm pro minimalizaci tvorby částic v čistých prostorách třídy ISO 1.

2.Vlastní procesní inženýrství

Naši inženýři vyvinuliřízení procesů s uzavřenou smyčkoukteré se přizpůsobují křehkosti keramiky během obrábění. Kombinací technik suchého frézování s tlumením vibrací v reálném čase dosahujeme povrchů bez trhlin a prodloužené životnosti součástí – a to i při extrémních teplotních cyklech (až do 1 600 °C).

Inovace v centru pozornosti:

•Protokoly pro zmírnění stresu:Minimalizujte mikrotrhliny v AlN izolátorech pro CVD aplikace.
•Úpravy po obrábění:HIP (Horké izostatické lisování) zvyšuje hustotu a odolnost proti korozi.

3.Přísné zajištění kvality

Každý izolátor prochází12stupňová inspekce, včetně:

•CMM (souřadnicový měřicí stroj)validace kritických dimenzí.
•Zkouška těsnosti héliapro kompatibilitu s vakuem.
•EDS (energiově disperzní rentgenová spektroskopie)k ověření čistoty materiálu.

NášSystém certifikovaný dle ISO 9001/14001zajišťuje sledovatelnost od získávání surovin (pocházejících od dodavatelů Tier 1, jako je CoorsTek) až po finální balení.

Aplikace: Kde se přesnost setkává s výkonem

Naše izolanty jsou důvěryhodné v:

•Nástroje pro leptání a nanášení:Součásti s povlakem SiC pro plazmovou odolnost v modulech Applied Materials™.
•Iontové implantátory:Zvedací kolíky z oxidu hlinitého s antistatickým povlakem zabraňujícím sklouznutí destičky.
•Metrologické systémy:Izolátory s nízkou tepelnou roztažností pro stoly EUV litografie.

Případová studie:Přední výrobce polovodičů (OEM) zkrátil prostoje nástrojů o 40 % poté, co přešel na naše zakázkově navržené sprchové hlavice SiC, které v oblasti zpracování 300mm destiček překonaly konkurenční díly.

Nad rámec výroby: Partnerský přístup

•Rychlé prototypování:Odešlete své CAD soubory a do 7 dnů obdržíte funkční prototypy.
•Balení do čistých prostor na místě:Volitelná sestava pro čisté prostory třídy 10 pro přímou integraci nástrojů.
•Doživotní technická podpora:Naši inženýři poskytují analýzu opotřebení a služby v oblasti opětovného obrábění, aby prodloužili životnost součástí.